具有隔离功能之闸极电极结构及其制造方法

摘要

本案系指一种具有隔离功能之闸极电极结构及其制造方法，该制造方法包括下列步骤：提供一基板；形成一闸极电极层上；形成一隔离层于该闸极电极层上，且该隔离层与该闸极电极层具有相同之覆盖面积；去除部份之该闸极电极层及该隔离层，藉以分别定义出一闸极电极结构及一隔离结构；形成一保护层于该闸极电极结构及该隔离结构上；以及去除该保护层之水平部份，藉以于该闸极电极结构及该隔离结构之两侧形成一间隙壁结构。