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发明名称 Verfahren zur Herstellung von integrierten Abtastsonden
摘要
申请公布号 DE50102399(D1) 申请公布日期 2004.07.01
申请号 DE20015002399 申请日期 2001.11.17
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM ROSSENDORF E.V. 发明人 SCHMIDT, DR. RER. NAT.;BISCHOFF, DR. RER. NAT.;ENG, PROF. DR.
分类号 G12B21/02;G12B21/06;(IPC1-7):G12B21/06 主分类号 G12B21/02
代理机构 代理人
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