发明名称 Fotopolymerisierbare Zusammensetzung und trockener Filmresist
摘要
申请公布号 DE69817471(T2) 申请公布日期 2004.07.01
申请号 DE19986017471T 申请日期 1998.06.24
申请人 SHOWA DENKO K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 MORIHIKO, YAMADA;TSUYOSHI, KATOH;KATSUMI, MUROFUSHI
分类号 G03F7/029;(IPC1-7):G03F7/029 主分类号 G03F7/029
代理机构 代理人
主权项
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