表面发射半导体激光器及其制造方法

摘要

一种表面发射半导体激光器包括：衬底、衬底上的半导体层叠层、在叠层上形成并具有激光发射窗的台体，和至少覆盖台体的侧面和外围部分的绝缘膜，该台体的外围部分由叠层形成。绝缘膜的末端被设置得比衬底的截断端更靠内。

主权项

1.一种表面发射半导体激光器，该激光器包括：衬底；衬底上的半导体层叠层；在该叠层上形成的并且具有激光发射窗的台体；以及至少覆盖台体的侧面和外围部分的绝缘膜，该台体的外围部分由叠层形成，该绝缘膜的末端比衬底的截断端更靠内。