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发明名称 METHOD FOR ADJUSTING A DESIRED OPTICAL PROPERTY OF A POSITIONING LENS AND MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION EXPOSURE SYSTEM
摘要
申请公布号 AU2003221481(A1) 申请公布日期 2004.06.30
申请号 AU20030221481 申请日期 2003.02.17
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 PAUL GRAUPNER
分类号 G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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