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发明名称
摘要
申请公布号	JP3101849(U)	申请公布日期	2004.06.24
申请号	JP20030270591U	申请日期	2003.07.11
申请人		发明人
分类号	A44C9/02;H01J37/147;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):A44C9/02	主分类号	A44C9/02
代理机构		代理人
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