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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR DIFFRACTIVE TRANSFER OF A MASK GRATING
摘要
申请公布号 EP1430348(A2) 申请公布日期 2004.06.23
申请号 EP20020784880 申请日期 2002.05.21
申请人 IBSEN PHOTONICS A/S 发明人 HANSEN, POUL-ERIK;IBSEN, PER, ELD
分类号 G03F7/20;(IPC1-7):G02B27/00;G03B27/52;G03F9/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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