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发明名称 METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN AND RESIST PATTERN
摘要
申请公布号 AU2003289125(A1) 申请公布日期 2004.06.23
申请号 AU20030289125 申请日期 2003.12.02
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 发明人 KIYOSHI ISHIKAWA;MITSURU SATO;TASUKU MATSUMIYA;KAZUHIRO FUJII;KENICHI SATO;NAOTAKA KUBOTA
分类号 G03F7/039;G03F7/30;G03F7/32;G03F7/40;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/40 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
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