发明名称 GAS DISCHARGE LAMP FOR EUV RADIATION
摘要
申请公布号 AU2003302551(A1) 申请公布日期 2004.06.23
申请号 AU20030302551 申请日期 2003.11.28
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 JOSEPH, ROBERT, RENE PANKERT;WILLI NEFF;KLAUS BERGMANN;JEROEN JONKERS;GUENTHER, HANS DERRA
分类号 H01J61/09;H05G2/00;(IPC1-7):H01J61/09 主分类号 H01J61/09
代理机构 代理人
主权项
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