| 发明名称 | 芯片缺陷探测器 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种芯片缺陷探测器，特别指用以在芯片研磨前，及时且快速检测异常芯片的装置；该芯片缺陷探测器是包括有一测试平台，用以承载一芯片以供测试；一超声波检测装置，设置于该测试平台上方，用以发射一平面超声波以扫描该芯片及接收该芯片所反射回来的超声波；及一微处理器，用以处理该芯片所反射回来的超声波并传送至一监视器；借此探测该芯片的内部是否存在缺陷。 | ||
| 申请公布号 | CN2621341Y | 申请公布日期 | 2004.06.23 |
| 申请号 | CN03257079.1 | 申请日期 | 2003.04.24 |
| 申请人 | 南亚科技股份有限公司 | 发明人 | 陈志焜;龚耀雄;罗屯元 |
| 分类号 | H01L21/66 | 主分类号 | H01L21/66 |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 潘培坤;楼仙英 |
| 主权项 | 1、一种芯片缺陷探测器，其特征在于，它包括：一测试平台，其上承载一供测试的芯片；一横杆式的超声波检测装置，设置于该测试平台上方，并发射一平面超声波以扫描该芯片及接收该芯片所反射回来的超声波；及一微处理器，处理芯片反射回来的超音波并将信号传送至一监视器。 | ||
| 地址 | 台湾省桃园县 | ||