| 主权项 |
1.一种使用液体来处理碟形物件(10)的装置,其包括:1.1一载具(1),其系用于该收纳该碟形物件;1.2一液体的供给装置(17),其系用于将液体施加至一位于该载具上的碟形物件;与1.3一液体捕捉环(2),其系被设置成实质上与该载具(1)同轴且系可在该液体捕捉环的轴之周围旋转,该液体捕捉环系可相对于该载具移动。2.如申请专利范围第1项的装置,其中该液体捕捉环系可相对于该载具而旋转。3.如申请专利范围第1项的装置,其中包含用于使该载具(1)与该液体捕捉环(2)彼此相对轴向之构件(25)。4.如申请专利范围第1项的装置,其中该载具(1)是可旋转的。5.如申请专利范围第1项的装置,其中该液体捕捉环(2)之内部表面(6)的直径(D)系在轴向上改变。6.如申请专利范围第1项的装置,其中该液体捕捉环(2)具有径向通道(5),该液体系可藉其径向地向外输送。7.如申请专利范围第4项的装置,其中该径向通道(5)位于该液体捕捉环(2)之该内部表面(6)的直径(D)至少为局部性最大(Dmax)的点。8.如申请专利范围第5项的装置,其中该液体捕捉环(2)的该内部表面(6)系被设置成锥形。9.如申请专利范围第5项的装置,其中一径向向内升高之底板(7),系形成在该液体捕捉环(2)的底部上。10.如申请专利范围第1项的装置,其中至少一环形腔室(4)系被放置在该液体捕捉环的周围(2),其系向内开放而自该液体的捕捉环(2)甩离的液体可被收集在其中。11.如申请专利范围第10项的装置,其具有至少二环形腔室(4,4'),其中面向内部的开口系被设置成一个位在另一个下面,且一构件(25)系被提供以使腔室(4,4')与液体捕捉环(2)作彼此轴向位位移。12.如申请专利范围第11项的装置,其中该液体捕捉环(2)之至少一部份该外部表面(7)系具有圆筒形套筒的外形。13.如申请专利范围第10项的装置,其中该至少一环形腔室(4)与该载具(1)系不会彼此轴向位移。图式简单说明:第1图显示依据本发明的一具体例之装置的概略剖面图。第2图显示通道5的一特殊具体例,其允许液体被更正确地甩离。第3a至3d图概略地显示在不同操作状态下的该装置。 |
