搬送式基板处理装置

摘要

即使在由基板(10)通过避液部(30)之出口的阶段中开始以下游侧之药液处理部来进行药液吐出操作的情况下，亦可防止上游侧之承接部中之药液污染。为了实现此种目的，将避液部(30)之全长(L1)设成大于基板(10)之长度(L2)，且将闸门(34a、34b)设于避液部(30)之基板入口及出口。接避液部(30)内藉由至少1个隔墙(32a、32b)而于基板搬送方向区隔呈多数室(33a、33b、33c)，除了避液部(30)内之最上游侧之室(33a)以外，将至少1室(33b)吸附呈负压状。将避液部(30)中之最上游侧之室(33a)管理呈常压成正压状。当基板(10)之前端到达至下游侧之药液处理部中之药液吐出开始位置的时间点下，将隔墙位置设定呈，基板(10)之后端为脱离避液部(30)中之最上游侧之室(33a)。使避液部(30)中之上游侧之室(33a)经常地维持呈洁净之环境气体(atmosphere)，在与避液部(30)之上游侧连接之部分上为形成经常洁净状之区域。

主权项

1.一种搬送式基板处理装置,系使基板朝水平方向搬送、通过多数的处理部,以多数处理部中至少1个进行药液处理,同时,将避液部设在药液处理部之上游侧的搬送式,其特征在于,将前述避液部内以至少1个隔墙而在基板搬送方向上区隔呈多数室,所设置之排气装置系为,除了前述避液部内之最上游侧之室内以外,为将至少1个室内呈负压状地进行吸附。2.如申请专利范围第1项之搬送式基板处理装置,其中系以将在前述避液部中之最上游侧之室内管理呈常压或正压。3.如申请专利范围第1项之搬送式基板处理装置,其中将前述避液部于基板搬送方向上区隔呈3个以上之室,除了前述避液部中之最上游侧之室内及最下游侧之室内以外,以将至少1个之室内吸附呈负压状。4.如申请专利范围第1项之搬送式基板处理装置,其中将前述避液部于基板搬送方向上区隔呈3个以上之室,在由避液部中之最上游侧之室内至最下游侧之室内的期间,使压力呈阶段性的减低。5.如申请专利范围第1项之搬送式基板处理装置,其中将前述避液部于基板搬送方向上区隔呈3个以上之室,且将隔墙位置设定呈,当基板前端在到达至下游侧之药液处理部中之药液吐出开始位置的时间点下,基板之后端为脱离在避液部中之最上游侧之室内。6.如申请专利范围第5项之搬送式基板处理装置,其中以将隔墙位置设定呈,当基板之前端在到达于药液处理部中之药液吐出开始位置的时间点下,使基板之后端进入在避液部中之最下游侧之室内。7.如申请专利范围第1项之搬送式基板处理装置,其中将避液部之全长设成大于基板之长度,且将闸门装配在避液部之基板入口及基板出口上。图式简单说明:第1图所示系本发明一实施例之基板处理装置之概略侧面图。第2图所示系避液部之概略平面图。