| 主权项 |
1.一种支撑顶针之下拉机构,应用于一可抽取式反应器上,该可抽取式反应器之底板具有复数个顶针,每一该些顶针分别具有直径较大之一基座,该下拉机构至少包含:一升降机构;以及至少一板材以一固定高度固定于该升降机构上,该板材上具有复数个开口以分别一一容纳该些顶针,自每一该些开口延伸出至少一狭缝,该些开口的尺寸足以容纳该顶针之该基座通过,该些狭缝的宽度介于该顶针与该基座的宽度之间。2.如申请专利范围第1项所述之支撑顶针之下拉机构,该固定高度至少高于该基座的高度。3.一种支撑顶针之下拉机构,应用于可抽取式反应器上,该可抽取式反应器之底板具有复数个顶针,每一该些顶针分别具有直径较大之一基座,该下拉机构至少包含:一升降机构;一第一板材,该第一板材之第一侧具有复数个第一缺口,以一固定高度固定于该固定基座上;以及一第二板材,该第二板材之一第一侧与该第一板材之该第一侧以一间隔相邻平行排列以形成一狭缝,该第二板材之该第一侧具有复数个第二缺口,该些第二缺口分别与该些第一缺口相对形成复数个开口以分别一一容纳该些顶针,且该第二板材以该高度固定于该固定基座上,其中该些开口的直径大于顶针之基座的直径,该狭缝的宽度介于顶针与基座的直径之间。4.如申请专利范围第3项所述之支撑顶针之下拉机构,该固定高度至少高于该基座的高度。图式简单说明:第1A-1E图,其系绘示习知化学气相沈积反应器的支撑顶针传动机构。第2-4图,其绘示依照本发明较佳实施例的一种支撑顶针之下拉机构的俯视示意图。 |
