| 发明名称 |
ION BEAM IRRADIATION APPARATUS AND METHOD OF IGNITING A PLASMA FOR THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG104316(A1) |
申请公布日期 |
2004.06.21 |
| 申请号 |
SG20020002486 |
申请日期 |
2002.04.24 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO., LTD. |
发明人 |
NARIAKI HAMAMOTO |
| 分类号 |
G21K5/00;G21K5/04;H01J37/20;H01J37/317;H01L21/223;H01L21/265;H05H1/24;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/425 |
主分类号 |
G21K5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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