基于涡流之量测能力的强化

摘要

提供一种方法及设备，可提升用于量测一基板之基于电阻的特征。该设备包含一感测器，用于侦测一藉由以涡流产生之电磁场产生之信号。该磁场强化源系位于该被量测物体相对于该感测器之另一侧以致能敏感度提升之动作。该敏感度提升源增加在被测物内产生之涡流强度，且因此提升感测器之敏感度。提供一种系统，可决定一层之厚度，亦提供一方法，用于决定基于电阻之特征特性。