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发明名称 ELEKTRONENSTRAHLRESIST
摘要
申请公布号 AT268916(T) 申请公布日期 2004.06.15
申请号 AT19990962315T 申请日期 1999.12.16
申请人 NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY;THE UNIVERSITY OF BIRMINGHAM 发明人 PALMER, RICHARD EDWARD;ROBINSON, ALEXANDER PHILLIP;KANAYAMA, TOSHIHIKO;TADA, TETSUYA
分类号 G03F7/004;G03F7/038;G03F7/32;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/038 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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