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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0493173(A)
申请公布日期
1992.03.25
申请号
JP19900208527
申请日期
1990.08.07
申请人
NEC KYUSHU LTD
发明人
HANAKI YOSHIMITSU
分类号
B24B49/03;H01L21/304
主分类号
B24B49/03
代理机构
代理人
主权项
地址
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