发明名称 | Pt-Co基溅射靶 | ||
摘要 | 一种具有多相的Co-Cr-B-Pt溅射靶合金。合金可包括Cr、B、Ta、Nb、C、Mo、Ti、V、W、Zr、Zn、Cu、Hf、O、Si和N。该合金通过将Pt粉末与Co-Cr-B主合金混合,球磨粉末和热等静压以密化粉末成合金而制得。 | ||
申请公布号 | CN1503854A | 申请公布日期 | 2004.06.09 |
申请号 | CN02808205.2 | 申请日期 | 2002.04.08 |
申请人 | 黑罗伊斯有限公司 | 发明人 | 迈克尔·桑德林;伯恩德·金克尔;张威利;菲利浦·科尔诺 |
分类号 | C23C14/34;H01F41/18 | 主分类号 | C23C14/34 |
代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 王维玉;丁业平 |
主权项 | 1.一种贵金属磁性溅射靶,包含Pt、Co和至少2at%的至少一种选自Cr、B、Ta、Nb、C、Mo、W、Zr、Zn、Cu、Hf、O、Si和N的元素。 | ||
地址 | 美国亚利桑那州 |