发明名称 Pt-Co基溅射靶
摘要 一种具有多相的Co-Cr-B-Pt溅射靶合金。合金可包括Cr、B、Ta、Nb、C、Mo、Ti、V、W、Zr、Zn、Cu、Hf、O、Si和N。该合金通过将Pt粉末与Co-Cr-B主合金混合,球磨粉末和热等静压以密化粉末成合金而制得。
申请公布号 CN1503854A 申请公布日期 2004.06.09
申请号 CN02808205.2 申请日期 2002.04.08
申请人 黑罗伊斯有限公司 发明人 迈克尔·桑德林;伯恩德·金克尔;张威利;菲利浦·科尔诺
分类号 C23C14/34;H01F41/18 主分类号 C23C14/34
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 王维玉;丁业平
主权项 1.一种贵金属磁性溅射靶,包含Pt、Co和至少2at%的至少一种选自Cr、B、Ta、Nb、C、Mo、W、Zr、Zn、Cu、Hf、O、Si和N的元素。
地址 美国亚利桑那州
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