发明名称 | 微滴喷射设备、微滴喷射方法和电子光学设备 | ||
摘要 | 一种微滴喷射头(100),具有用于喷射储存在液体箱(110)中的液体的喷嘴(140)。压电元件(130)对储存在压力室(120)中的液体加压或减压,从而使液体柱从喷嘴(140)中伸出或吸入。激光器(200)和柱面透镜(210)设在喷嘴(140)附近,并将激光束会聚到液体柱上,从而通过压电元件(130)辅助由液体柱形成微滴。 | ||
申请公布号 | CN1502414A | 申请公布日期 | 2004.06.09 |
申请号 | CN200310114269.4 | 申请日期 | 2003.11.12 |
申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 三浦弘纲 |
分类号 | B05B7/02;B05D1/02;B05D3/00;B41J2/01;H05K3/00;H01L21/02 | 主分类号 | B05B7/02 |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 王玮 |
主权项 | 1.一种微滴喷射设备,包括:喷射装置,用于通过向压力室施加压力而从喷嘴喷射储存在所述压力室中的液体;微滴形成辅助装置,用于向从所述喷嘴喷射出的所述液体提供辅助微滴形成的能量。 | ||
地址 | 日本东京 |