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Ein elektronisches Bauelement mit einer neuen Oxidschicht und ein Verfahren zu seiner Herstellung werden bereitgestellt. Das elektronische Bauelement der Erfindung weist eine Oxidschicht auf, die aus einem Oxid gebildet ist, das ein Element der Gruppe IIa, ein Element der Gruppe IIb und ein Element der Gruppe IIIb enthält. Anwendung finden kann es z. B. auf eine Solarzelle mit einer Gegenelektrode, die als erste Elektrodenschicht dient, einem transparenten elektrisch leitenden Film, der als zweite Elektrodenschicht mit einem Lichtdurchlaßvermögen dient, und einer Halbleiterschicht, die zwischen der Gegenelektrode und dem transparenten elektrisch leitenden Film vorgesehen ist und als Lichtabsorptionsschicht fungiert, und mit einer Oxidschicht, die zwischen der Halbleiterschicht und dem transparenten elektrisch leitenden Film vorgesehen ist.
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