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发明名称 APPARATUS AND METHODS TO PROCESS SUBSTRATE SURFACE FEATURES
摘要
申请公布号 AU2003291439(A1) 申请公布日期 2004.06.03
申请号 AU20030291439 申请日期 2003.11.07
申请人 IRM, LLC 发明人 JAMES, KEVIN MAINQUIST;BERNHARD, H. GEIERSTANGER;DAVID, C. TULLY
分类号 B01L3/00;B01L9/00;C12M3/00;(IPC1-7):C12M3/00 主分类号 B01L3/00
代理机构 代理人
主权项
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