使用定位标记的位置误差测量方法和装置及根据使用定位标记的位置误差测量结果进行位置修正的加工装置

摘要

以预定精度相对于图像信息检测装置(1、2)对定位标记(21-24)进行定位并加以固定，在狭视场的图像信息检测装置(1)可检测定位标记(21-24)时，根据该图像信息求被加工件(7)的位置误差；在狭视场的图像信息检测装置(1)不能检测定位标记(21-24)时，由宽视场的图像信息检测装置(2)检测定位标记(21-24)的图像信息，根据该图像信息得到的被加工件(7)的位置误差，修正宽视场的图像信息检测装置(2)与被加工件(7)的相对位置；由狭视场的图像信息检测装置检测定位标记(21-24)的图像信息，根据该图像信息求被加工件(7)的位置误差。

主权项

1.一种位置误差测量方法，其特征在于包括下述步骤：由具有第一视场的第一图像信息检测装置检测被加工件的图像信息；由控制装置判断所述图像信息中是否包含被加工件上的定位标记的图像信息；在判断为图像信息中包含被加工件上的定位标记的图像信息时，根据所述图像信息确定被加工件相对于第一图像信息检测装置的位置误差；在判断为图像信息中不包含被加工件上的定位标记的图像信息时，由具有比第一视场宽的第二视场且相对于第一图像信息检测装置固定于预定位置的第二图像信息检测装置，检测所述定位标记的图像信息；根据第二图像信息检测装置检测的所述定位标记的图像信息，改变第二图像信息检测装置与被加工件的相对位置；由第一图像信息检测装置检测改变相对位置后的被加工件上的定位标记的图像信息；根据第一图像信息检测装置检得的定位标记的图像信息，确定被加工件相对于第一图像信息检测装置的位置误差。