| 发明名称 | 改良的清洗组合物 | ||
| 摘要 | 由过硫酸盐、硼酸、含氟酸和无机酸构成的组合物。组合物中也可以包含助剂。组合物可用作在制造微电子包中的微蚀刻溶液。 | ||
| 申请公布号 | CN1500912A | 申请公布日期 | 2004.06.02 |
| 申请号 | CN03164896.7 | 申请日期 | 2003.09.09 |
| 申请人 | 希普雷公司 | 发明人 | J·G·卡特尔;J·D·费尔曼;J·M·诺普;M·W·拜伊斯 |
| 分类号 | C23G1/02;C23F1/18;H05K3/06 | 主分类号 | C23G1/02 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 刘明海 |
| 主权项 | 1、一种组合物，包含过硫酸盐、含氟酸和硼酸或硼酸盐或它们的混合物。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞 | ||