工件处理机器人

摘要

本发明公开了一种用于传输工件的晶片处理机器人(100)。该机器人包括具有给机器人提供稳定性的刚性构架(112)的基体(102)。基体还包括支柱(116)、用于移动支柱的线性驱动系统(122)、以及用于转动支柱的肩台驱动器(120)。肩台驱动器包括用于提供支柱输出转速的谐波传动减速系统(138)用于与支柱一同转动，以及可转动地安装到近端连杆上的远端连杆(106)。用于支撑工件的端部操纵装置(108)可转动地安装到远端连杆的远端。肘部驱动器(150)安装到近端连杆上，向下伸入支柱部分内，用于驱动远端连杆相对近端连杆转动。

主权项

1.一种工件处理机器人，包括：基体，其包括： 刚性构架，其赋予所述基体结构刚性；以及 盖板，其与所述构件配合以确定所述基体内的壳体；刚性支柱，其具有赋予所述支柱结构刚性的厚度，所述刚性支柱能够相对于所述基体转动，并能够在所述支柱的大部分缩回进所述基体内的第一位置和所述支柱的大部分垂直向上伸出所述基体的第二位置之间轴向移动；线性驱动器，其位于所述基体内，用于在所述第一位置和所述第二位置之间沿轴向移动所述支柱；第一旋转驱动器，其位于所述支柱的底部，用于相对所述基体转动所述支柱；牢固安装到所述支柱上的近端连杆；可转动地连接到所述近端连杆上的远端连杆；以及第二转动驱动器，其位于所述支柱的顶部、用于相对所述近端连杆转动所述远端连杆。