直拉单晶生长装置

摘要

本发明公开了一种直拉单晶生长装置，其包括籽晶杆、坩埚和连接于坩埚底部的坩埚杆，所述的坩埚的上面设有用于密封坩埚的热壁密封盖，所述的热壁密封盖和坩埚连接部位设有动态密封装置，所述籽晶杆穿过热壁密封盖伸入坩埚室内并与热壁密封盖连为一体。本发明解决了现有的直拉单晶生长装置结构复杂、密封环节多的问题，只需在热壁密封盖和坩埚连接部位一处设有动态密封装置即可以实现密封，克服了现有直拉单晶生长装置因密封环节多、结构复杂而带来的成本增加、重复性差、不适于产业化生产、并且难以保证良好的密封效果等缺陷。

主权项

1.一种直拉单晶生长装置，包括籽晶杆(111)、坩埚(105)和连接于坩埚底部的坩埚杆(108)，其特征在于：所述的坩埚(105)的上面设有用于密封坩埚的热壁密封盖(103)，所述的热壁密封盖(103)和坩埚(105)连接部位设有动态密封装置(104)，所述籽晶杆(111)穿过热壁密封盖(103)伸入坩埚室内并与热壁密封盖(103)连为一体。