| 发明名称 | 用于离子注入器的污染物收集器捕集器 | ||
| 摘要 | 一种用于腔室(14)的排空系统，其包括：用于从腔室排放气体和污染物的泵(12)，泵具有连接到排放管(34)的出口(32)；用于收集从排放腔室排放的污染物的收集器捕集器(42)，该收集器捕集器定位在泵出口(32)和排放管(34)之间并包括(I)一具有将气体和污染物引入其中的入口(56)的气体/污染物分离器(46)，所述分离器用来在物理上分离气体和污染物；(ii)一用于收集分离的污染物的收集器(48)，所述收集器(48)包括用于使得污染物从收集器抽出的抽出器连接器(70)；以及用于使得分离的气体排出气体/污染物分离器(46)的出口(72)。 | ||
| 申请公布号 | CN1501844A | 申请公布日期 | 2004.06.02 |
| 申请号 | CN01820959.9 | 申请日期 | 2001.12.13 |
| 申请人 | 艾克塞利斯技术公司 | 发明人 | J·P·奎尔 |
| 分类号 | B04C3/00;B01D45/02;B01D45/16;H01J37/32;H01J49/24;B04C5/103;B04C5/12 | 主分类号 | B04C3/00 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 蔡民军 |
| 主权项 | 1.一种用于收集从排放空腔排出的污染物的收集器捕集器(42)，其包括：(i)具有将气体和污染物引入其中的入口(56)的气体/污染物分离器(46)，所述分离器(46)用来在物理上分离气体和污染物；(ii)用于收集分离的污染物的污染物收集器(48)，所述收集器(48)包括从该收集器抽出污染物的抽出器连接器(70)；以及(iii)用于使得分离的气体排出气体/污染物分离器(46)的出口(72)。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||