聚合物基波导装置及其制造方法

摘要

一种用作光放大器或激光波导的聚合物基波导装置，其包括一基体、一覆盖在基体上的聚合物内覆层、安置在该聚合物内覆层上的信道波导和一覆盖在聚合物内覆层上且包覆该信道波导的聚合物外覆层，该信道波导由至少一种可激化产生激光的稀土金属离子掺杂复合物制成。该波导装置的制造方法包括：制备一基体；在基体上涂敷一聚合物内覆层，并干燥固化；在该聚合物内覆层表面涂敷溶解有稀土金属离子掺杂复合物的第二聚合物，并进行选择性固化和蚀刻，而形成信道波导；在聚合物内覆层和信道波导外涂敷一聚合物外覆层，并干燥固化。该波导装置具有良好的光放大功能和传输功能。

主权项

1.一种聚合物基波导装置，包括一基体，形成于该基体上的一内覆层，安置在该内覆层上的信道波导，以及包覆于该信道波导和内覆层上的外覆层，其特征在于：该内覆层和外覆层皆为聚合物覆层，且该信道波导是由溶解有稀土金属离子掺杂复合物的第二聚合物制成。