| 摘要 |
本发明提供一种热泡式微型惯性感测元，系为一以微加工技术形成之微型装置，其系在一基板上设置一加热器，且在加热器之四周对称设有四组温度感测元，以感测加热器周围的温度变化，在基板上设有一封盖，且其系包覆加热器及该等温度感测元以密封之，使一液相流体填充于封盖与基板形成之空间内；利用该加热器加热液相流体，使之汽化形成一热汽泡于该液相流体环境中，藉由水的表面张力及温度控制可以控制汽泡的大小，以使加热器四周的温度感测元感测到温度分布之变化，以作为一倾斜计以感测倾斜的方向及大小，亦可作为一加速规以量测加速度的方向及大小。本创作具有无质量块、反应速度快、灵敏度高、体积小等优点。 |
