| 主权项 |
1.一种研磨装置,包括:一研磨板;一板支持件支持该研磨板;一形成环状的固定结合件固定于该板支持件,该固定结合件与该研磨板的外缘结合;第一O型环设置于该固定结合件之加压面与该研磨板的上表面间,该第一O型环使该固定结合件的加压面与该研磨板的上表面分离;第二O型环设置于该板支持件的上表面与该研磨板的下表面之间,该第二O型环使该板支持件的上表面与该研磨板的下表面分离;及一流体供应-排放机构用以供应流体于由该研磨板的下表面,该板支持件的上表面及第二O型环所包覆的区域并自该区域排放流体,该流体供应-排放机构藉改变流体压力来改变该研磨板的研磨面形状;其中该研磨板的外周面系与该固定结合件的内周面分离者。2.如申请专利范围第1项之研磨装置,其中所述第一O型环在该研磨板上表面之位置对应于该第二O型环在下表面之位置。3.如申请专利范围第1项之研磨装置,其中所述固定结合件包含:一固定部固定于该板支持件;及一延伸部自该固定结合件的内周面向内延伸并覆盖该研磨板的外缘。4.如申请专利范围第3项之研磨装置,其中有一阶梯部形成于该研磨板的外缘,该阶梯部藉该固定结合件的延伸部支持。5.如申请专利范围第1项之研磨装置,其中所述研磨板为陶瓷制者。图式简单说明:第1图为本发明一实施例中研磨装置的研磨板与板支持件的剖面图;第2图为研磨板的剖面图,其研磨面为向上突起者;第3图为固定结合件与研磨板结合的部分剖面图;第4图为研磨板与固定结合件组结合的平面图;第5图为传统研磨的说明图;第6图为传统板支持件的平面图;及第7图为传统研磨板与板支持件的剖面图。 |
