具有窗口之研磨垫

摘要

具有一窗口的研磨垫，包含此研磨垫的系统，及使用此研磨垫的处理被揭示。例如，在一浅沟渠隔离(STI)制程，一旋转涂布玻璃制程及一绝缘体上的矽(SOI)制程的一个处理期间，一波长介于约300至500nm之间的光束(34)可被导引通过一研磨垫(18)的研磨表面的透明部分(44)。另一个例子为，该研磨垫可包括一背衬层(116)，一研磨层(120)，一实心窗口(140)，及介于背衬层与实心窗口之间的第一及第二不同黏着物质层(150，160)。