| 主权项 |
1.一种离子源,其包含: 一金属丝,系安装用以产生热电子;以及 一电浆产生容器,其中该金属丝所产生之热电子系 用以游离一含铟之原料气体,以产生一含铟离子的 离子束; 其中,该原料气体为三甲基铟气体或三乙基铟气体 之一,而该金属丝包含钽,该包含三甲基铟气体或 三乙基铟气体之一之原料气体和该包含钽之金属 丝的组合,使该金属丝具有比钨丝还长的使用寿命 。2.如申请专利范围第1项之离子源,其中,更包含: 一进气机构,用以将一惰性气体和该原料气体引进 该电浆产生容器内部。3.如申请专利范围第2项之 离子源,其中,该进气机构包括一管。4.一种供应离 子源之方法,其包含: 利用一金属丝产生热电子; 利用该金属丝所产生之热电子,在一电浆产生容器 内游离一原料气体,该原料气体含有铟,以产生一 含铟离子的离子束,该原料气体包含三甲基铟气体 或三乙基铟气体之一,而该金属丝包含钽,该包含 三甲基铟气体或三乙基铟气体之一之原料气体和 该包含钽之金属丝的组合,便该金属丝具有比钨丝 还长的使用寿命。5.如申请专利范围第4项之方法, 其中,更包含: 一进气机构,用以将一惰性气体和该原料气体引进 该电浆产生容器内部。6.如申请专利范围第5项之 方法,其中,该进气机构包括一管。图式简单说明: 图1为剖面图显示根据本发明之离子源之具体实施 例; 图2为剖面图部份显示根据本发明之其它离子源实 例之进气机构的周边; 图3为剖面图显示习知离子源; 图4为剖面图显示根据本发明之离子源之一具体实 施例;以及 图5概略地显示金属丝之一例,金属丝表面由于出 现空隙而变斑驳。 |
