| 发明名称 |
AQUEOUS BUFFERED FLUORIDE-CONTAINING ETCH RESIDUE REMOVERS AND CLEANERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL159359(D0) |
申请公布日期 |
2004.06.01 |
| 申请号 |
IL20020159359 |
申请日期 |
2002.06.04 |
| 申请人 |
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. |
发明人 |
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| 分类号 |
G03F7/42;C11D7/08;C11D7/10;C11D7/26;C11D7/28;C11D7/32;C11D7/34;C11D7/50;C11D7/60;H01L21/027;H01L21/304;(IPC1-7):C11D |
主分类号 |
G03F7/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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