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发明名称 Method of etching a surface of semiconductor device
摘要
申请公布号 US2890159(A) 申请公布日期 1959.06.09
申请号 US19570678131 申请日期 1957.08.14
申请人 SONY KABUSHIKIKAISHA 发明人 AMAYA AKIO
分类号 C25F3/12;H01L21/3063 主分类号 C25F3/12
代理机构 代理人
主权项
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