发明名称 Vorrichtung und Verfahren zum Betauen eines Prüflings
摘要 Die Erfindung betrifft eine Vorichtung und ein Verfahren zum Betauen eines Prüflings. Um eine verbesserte Reproduzierbarkeit der Betauung zu erreichen, weist die Vorrichtung einen Prüfbehälter (11), welcher einen hermetisch nach außen hin abdichtbaren Prüfraum (12) zur Aufnahme eines Prüflings ausbildet, und eine Betauungseinrichtung zum Betauen des Prüflings innerhalb des Prüfraums (12) auf, wobei die Betauungseinrichtung eine Kühlvorrichtung zum Abkühlen des Prüflings auf einen Temperaturwert, bei dem eine Betauung des Prüflings erfolgt, aufweist, und wobei Mittel zum Zuführen eines Versorgungsklimas mit gegenüber dem Prüfraum erhöhter Luftfeuchtigkeit oder Temperatur in den Prüfraum vorgesehen sind.
申请公布号 DE10252561(A1) 申请公布日期 2004.05.27
申请号 DE20021052561 申请日期 2002.11.08
申请人 SPILLECKE, RALF 发明人 SPILLECKE, RALF
分类号 G01R31/28;(IPC1-7):G01N17/00 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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