| 发明名称 | 液滴喷出装置和方法、制膜装置和方法、器件制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种液滴喷出装置和方法、制膜装置和方法、器件制造方法。其中本发明液滴喷出装置是一种通过由通常驱动信号的驱动使压电元件发生机械变形，从开口喷出喷出用液体的液滴的装置，通过由与所述通常驱动信号不同的冷却用驱动信号的驱动，从开口喷出液滴。由此，可有效地冷却由压电元件的发热被加热的喷出用液体。 | ||
| 申请公布号 | CN1498756A | 申请公布日期 | 2004.05.26 |
| 申请号 | CN200310104406.6 | 申请日期 | 2003.10.28 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 臼田秀范;桥爪靖;平出康宏 |
| 分类号 | B41J2/045;B41J2/055 | 主分类号 | B41J2/045 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 李香兰 |
| 主权项 | 1.一种液滴喷出装置，通过由通常驱动信号的驱动使压电元件发生机械变形，从开口喷出喷出用液体的液滴，其特征在于：通过由与所述通常驱动信号不同的冷却用驱动信号的驱动，从开口喷出液滴。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||