| 发明名称 |
Manufacturing process of detachable substrates |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003276623(A8) |
申请公布日期 |
2004.05.25 |
| 申请号 |
AU20030276623 |
申请日期 |
2003.10.29 |
| 申请人 |
S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES |
发明人 |
OLIVIER RAYSSAC |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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