具有酯构造之新颖三级胺化合物及其制造方法

摘要

本发明系提供一种于增强化学性之光蚀刻技术中，经添加后可制得具有优良解像性、焦距宽容度之光阻的新颖含酯基的三级胺化合物。本发明系提供一种下记式(1)所示之含酯基之三级胺化合物。又，于制造方法中，并提供将下记式(5)所示第一级或第二级胺化合物与下记式(6)所示丙烯酸酯化合物经麦可(Michael)加成反应而制造之方法；将下记式(7)所示单乙醇胺或二醇胺与下记式(6)所示丙烯酸酯化合物经麦可加成反应而制得含有下记式(8)所示酯基之胺化合物后，再导入R1基之方法；与将下记式(9)所示含酯基之三级胺与R2OH经酯交换反应等制造方法。

主权项

1.一种下记式(1)所示含酯基的三级胺化合物,(R1OCH2CH2)nN(CH2CH2CO2R2)3-n(1)(上式中,n=1或2,R1.R2分别为独立之可含有醚基、羰基、羰氧基之碳数1至20之直链状、支链状或环状烷基)。2.如申请专利范围第1项之三级胺化合物,其于式(1)中,R1之碳数为1至10,R2之碳数为2至10者。3.如申请专利范围第1或2项之三级胺化合物,其于式(1)中,R1为甲醯基或乙醯基,R2之碳数为2至10者。4.如申请专利范围第1或2项之三级胺化合物,其于式(1)中,R1为甲基,R2之碳数为2至10者。5.一种下记式(1)所示含酯基的三级胺化合物之制造方法,其特征为,将下记式(5)所示第一级或第二级胺化合物与下记式(6)所示丙烯酸酯化合物经由麦可加成反应而制得者;(上式中,n=1或2,R1.R2分别为独立之可含有醚基、羰基、羰氧基之碳数1至20之直链状、支链状或环状烷基)。6.一种下记式(1)所示含酯基的三级胺化合物之制造方法,其特征为,将下记式(7)所示之单乙醇胺或二乙醇胺与下记式(6)所示丙烯酸酯化合物经由麦可加成反应而制得下记式(8)所示含酯基的乙醇胺化合物后,再导入下记R1基者;(上式中,n=1或2,R1.R2分别为独立之可含有醚基、羰基、羰氧基之碳数1至20之直链状、支链状或环状烷基)。7.一种下记式(1)所示含酯基的三级胺化合物之制造方法,其特征为,将下记式(9)所示含酯基的三级胺与R2OH(R2为可含有醚基、羰基、羰氧基之碳数1至20之直链状、支链状或环状烷基)所示之醇,经由酯交换反应而制得者;(上式中,n=1或2,R1.R2分别为独立之可含有醚基、羰基、羰氧基之碳数1至20之直链状、支链状或环状烷基,R4为碳数1至4之烷基)。