发明名称 方形板状工件之移载方法及移载装置
摘要 发明之名称:方形板状工件之移载方法及移载装置本发明系提供一种即便在对热处理装置进行移载中,亦不致产生位置侦测器的耐热性、可靠性问题,而且可省略在冷却装置与热处理装置间的基板热处理用架之移动机构或移动步骤,可直接利用机械手对热处理装置进行移载或取出的移载方法及移载装置。利用配置于机械手以外之适当位置处的位置侦测器31,32,33,辨识基板W的纵横位置偏差量、及对机械臂伸缩量的角度偏差量,并将上述工件的姿态调整为平行于机械臂伸缩轴A的状态,同时根据所辨识到的位置偏差量修正纵横移动量,俾将该工件收容于既定的适当位置处。
申请公布号 TW588428 申请公布日期 2004.05.21
申请号 TW092101709 申请日期 2003.01.27
申请人 光洋热系统股份有限公司 发明人 熊谷阳介
分类号 H01L21/68;G01B21/00 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种方形板状工件之移载方法,系具备有: 搬送机器人,设有可旋转的支撑着且在径向上可伸 缩之机械臂及其前端所设置的机械手,并将工件从 取出位置移载至收容位置; 校正机构,供调整保持于上述机械手上的上述工件 位置及姿态用;以及 复数个位置侦测器,对应于上述机械手上所保持工 件一端边; 所构成的移载装置进行方形板状工件之移载方法, 其特征为: 将上述复数个位置侦测器配设于上述机械手以外 的适当处所; 上述校正机构,系包含有: 利用上述复数个位置侦测器,检测出该一端边之位 置与角度的步骤; 根据上述检测出的位置与角度,计算出该工件对上 述机械手之位置偏差量、与对机械臂伸缩轴之角 度偏差量的步骤; 根据上述所计算出的角度偏差量,将上述工件的姿 态调整为平行于机械臂伸缩轴的步骤; 藉由至少一个位置侦测器,检测出邻接上述一端边 的另一端边之位置的步骤; 根据上述所检测出另一端边的位置,计算出该工件 对上述机械臂之位置偏差量的步骤;以及 根据上述所计算出一端边与另一端边的各位置偏 差量,修正利用上述搬送机器人所进行的上述工件 之纵横移动量,并将该工件收容于既定适当位置的 步骤。2.如申请专利范围第1项之方形板状工件之 移载方法,其中,系藉由检测出上述一端边位置与 角度的复数个位置侦测器中至少其中一个的位置 侦测器,检测出邻接上述一端边的另一端边之位置 。3.如申请专利范围第1或2项之方形板状工件之移 载方法,其中,上述工件的一端边系工件位于机械 手前端侧的端边。4.一种方形板状工件之移载方 法,系具备有: 搬送机器人,设有可旋转的支撑着且在径向上可伸 缩之机械臂及其前端所设置的机械手,并将工件从 取出位置移载至收容位置; 校正机构,供调整保持于上述机械手上的上述工件 位置及姿态用;以及 复数个位置侦测器,对应于上述机械手上所保持工 件一端边; 所构成的移载装置进行方形板状工件之移载方法, 其特征为: 上述搬送机器人系构成可使保持于机械手上的工 件进行朝沿着机械臂伸缩轴的纵向进行移动的纵 移动、使该工件朝横向进行移动的横向移动、以 及利用上述机械臂或机械手的旋转而使工件旋转 移动的构造; 将上述复数个位置侦测器配设于上述机械手以外 的适当处所; 上述校正机构系包含有: 根据随上述纵移动并利用上述复数个位置侦测器 所检测出的位置及角度,计算出该工件之纵向位置 偏差量、与对机械臂伸缩轴之角度偏差量的步骤; 根据上述所计算出的角度偏差量,利用上述旋转移 动,将上述工件的姿态调整为平行于机械臂伸缩轴 的步骤; 藉由随上述横向移动,而利用上述复数个位置侦测 器中至少一个位置侦测器所检测出的另一端边位 置,计算出该工件之横向位置偏差量的步骤;以及 根据上述计算之纵向与横向向各位置偏差量,修正 利用上述搬送机器人所进行的该工件之纵横移动 量,并将该工件收容于既定适当位置的步骤。5.一 种方形板状工件之移载装置,系具备有: 搬送机器人,设有可旋转的支撑着且在径向上可伸 缩之机械臂及其前端所设置的机械手,并将工件从 取出位置移载至收容位置; 校正机构,供调整保持于上述机械手上的上述工件 位置及姿态用;以及 复数个位置侦测器,对应于上述机械手上所保持工 件一端边; 所构成的移载装置进行方形板状工件之移载装置, 其特征为: 其中, 将上述复数个位置侦测器配设于上述机械手以外 的适当处所; 上述校正机构系利用上述复数个位置侦测器,检测 出该一端边之位置与角度,并藉此计算出该工件对 上述机械手之位置偏差量、与对机械臂伸缩轴之 角度偏差量,然后将上述工件的姿态调整为平行于 机械臂伸缩轴,再藉由至少一个位置侦测器,检测 出邻接上述一端边的另一端边之位置,并根据此而 计算出该工件对上述机械臂之位置偏差量,然后再 根据该等所计算出的一端边与另一端边之各位置 偏差量,修正利用上述搬送机器人所进行上述工件 的纵横移动量,并将该工件收容于既定的适当位置 。6.如申请专利范围第5项之方形板状工件之移载 装置,其中,上述校正机构系藉由检测上述一端边 位置与角度之复数个位置侦测器中的至少其中一 个位置侦测器,检测出邻接上述一端边的另一端边 之位置。7.一种方形板状工件之移载装置,系具备 有: 搬送机器人,设有可旋转的支撑着且在径方向上可 伸缩之机械臂及其前端所设置的机械手,并将工件 从取出位置移载至收容位置; 校正机构,供调整保持于上述机械手上的上述工件 位置及姿态用;以及 复数个位置侦测器,对应于上述机械手上所保持工 件一端边; 所构成的移载装置进行方形板状工件之移载装置, 其特征为: 上述搬送机器人系构成可使保持于机械手上的工 件进行朝沿着机械臂伸缩轴纵向进行移动的纵移 动、使该工件朝横向移动的横移动、以及利用上 述机械臂或机械手的旋转而使工件进行旋转移动 的构造; 上述复数个位置侦测器系配设于上述机械手以外 的适当处所; 该校正机构系随着上述纵向移动,并根据上述复数 个位置侦测器所检测出的位置及角度,计算出该工 件之纵向位置偏差量、与对机械臂伸缩轴之角度 偏差量,然后藉由上述旋转旋转移动而将该工件的 姿态调整为平行于机械臂伸缩轴,同时随着上述的 横向移动,而根据该复数个位置侦测器中至少一个 位置侦测器所检测出的另一端边位置,计算出该工 件之横向位置偏差量,再根据该等所计算出的纵向 与横向之各位置偏差量,修正利用该搬送机器人所 进行的上述工件之纵横移动量,并将该工件收容于 既定的适当位置。图式简单说明: 第1图系本发明代表实施形态的移载装置构造平视 图。 第2图系同移载装置的侧视图。 第3图系搬送机器人说明图。 第4图系移载装置之系统构造方块图。 第5图系移载处理顺序的实施例说明概略图。 第6图系移载处理顺序的变化例说明概略图。 第7图系移载处理顺序的另一变化例说明概略图。 第8图(a)与(b)系利用中心单元的习知机械式校正方 式说明图。 第9图系习知非接触校正方式的移载装置平视图。
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