发明名称 半导体记忆装置及写入与读出之控制方法
摘要 本发明提供一种可程式的半导体记忆装置,其使区块选择电晶体能够高耐压、抑制写入时之电压降低、以及无关于记忆单元之配置区域而使导电区域之电阻和为定值分隔且平行延伸于基板表面的2条导电区域104对,系以导线105成对角线状连接一边导电区域之一侧端部与另外一边导电区域之另一侧端部而构成1组副位元线,将连接副位元线与主位元线101的选择电晶体102配置于记忆单元阵列之两侧,将连接于记忆单元阵列之一侧与另一侧之选择电晶体的复数组副位元线以彼此交错方式予以配置,于形成1组副位元线的导电区域对(a、a)间的区域,合计设置4条导电区域,包含:形成2组副位元线之一导电区域对中的各1条导电区域b、e,该2组副位元线连接于对应的主位元线之两相邻2条主位元线;及形成另2组副位元线之一导电区域对中的各1条导电区域c、d,该另2组副位元线连接于另一侧之选择电晶体。选择电晶体102系藉由场氧化膜106而予以元件分隔。伍、(一)、本案代表图为:第20图(二)、本案代表图之元件代表符号简单说明:102 区块选择电晶体102 2A1(主位元线)103 闸极电极(区块选择线SL)104 导电区域(副位元线)105 导线106 场氧化膜107、108 扩散层110 闸极电极(字元线WL)111 接触孔
申请公布号 TW588363 申请公布日期 2004.05.21
申请号 TW091137405 申请日期 2002.12.25
申请人 NEC电子股份有限公司 发明人 西祯一郎;神保 敏且;河野隆树
分类号 G11C16/00;H01L29/788;H01L21/8247;H01L27/10 主分类号 G11C16/00
代理机构 代理人 周良谋 新竹市东大路一段一一八号十楼;周良吉 新竹市东大路一段一一八号十楼
主权项 1.一种半导体记忆装置,其特征为: 于形成记忆单元阵列区域的基板表面,具备数条平 行延伸形成的导电区域; 将2条该导电区域成对,利用导线连接而形成1组副 位元线; 该1组副位元线介由选择电晶体而连接至主位元线 ; 复数之该选择电晶体在该记忆单元阵列之两侧相 向配置;以及 分别连接于该记忆单元阵列一侧之复数之选择电 晶体的复数组副位元线,及分别连接于该记忆单元 阵列另一侧之复数之选择电晶体的复数组副位元 线,以相互交错方式配置。2.如申请专利范围第1项 之半导体记忆装置,其中,该记忆单元阵列区域,于 该1组副位元线之间的区域,包含合计4条副位元线, 亦即:2组副位元线之各1条,该2组副位元线系分别 介由与该1组副位元线相连接之选择电晶体,而与 介由该选择电晶体所连接之主位元线的相邻2条主 位元线相连接;及另外2组副位元线之各1条,该另外 2组副位元线系分别介由该记忆单元阵列之另一侧 的选择电晶体而与两相邻的2条主位元线相连接。 3.一种半导体记忆装置,具备:记忆单元阵列,由复 数之记忆单元阵列配置成阵列状而成;复数之选择 电晶体,分别配置于该记忆单元阵列之一侧及与该 一侧对向之另一侧; 其特征为: 将于基板表面相分隔形成的2条导电区域以导线连 接而形成1组副位元线,该1组副位元线系介由对应 之该选择电晶体而连接至主位元线;以及 于形成该1组副位元线的1导电区域对之间的区域, 设有合计4条导电区域对,亦即:构成2组副位元线的 1导电区域对之各1条,该2组副位元线系分别介由选 择电晶体而连接至对应于该1组副位元线的该主位 元线的相邻2条主位元线相连接;及构成另2组副位 元线的1导电区域对之各1条,该另2组副位元线系分 别介由该记忆单元阵列之另一侧的选择电晶体而 与两相邻的2条主位元线相连接。4.如申请专利范 围第1项之半导体记忆装置,其中,藉由场氧化膜进 行该选择电晶体间之元件分隔。5.如申请专利范 围第1项之半导体记忆装置,其中,形成该1组副位元 线之导电区域对,其各自的长轴方向之端部中,位 在对应于该1组副位元线的该选择电晶体之侧的端 部(称之为『一侧端部』)彼此间,系介由基板上层 之导线而彼此连接。6.如申请专利范围第5项之半 导体记忆装置,其中,形成该1组副位元线之导电区 域对,与该一侧端部位在长轴方向相反侧的另一侧 端部彼此间,系介由基板上层之导线而相互连接。 7.如申请专利范围第5项之半导体记忆装置,其中, 形成该1组副位元线之导电区域对中的至少1个,其 该一侧端部,及与该一侧端部位在长轴方向相反侧 的另一侧端部,系介由基板上层之导线而相互连接 。8.如申请专利范围第5项之半导体记忆装置,其中 ,形成该1组副位元线之导电区域对的每一个,其该 一侧端部,及与该一侧端部位在长轴方向相反侧的 另一侧端部,系介由基板上层之导线而相互连接。 9.如申请专利范围第1项之半导体记忆装置,其中, 从该记忆单元阵列之一侧至和该一侧对向之另一 侧之间,将形成该组副位元线之电区域对分割成复 数段; 具备有导线,该导线系对应于该1组副位元线而形 成于基板上层,从连接至对应于该1组副位元线的 该选择电晶体的一侧,跨越延伸于该复数段之导电 区域对至另一侧;且 跨越延伸于该复数段之导电区域对的导线系分别 连接在将该各段之导电区域对彼此衔接的导线。 10.如申请专利范围第1项之半导体记忆装置,其中, 形成该1组副位元线之导电区域对,其各自的长轴 方向之端部中,位在对应于该1组副位元线的该选 择电晶体之侧的端部(称之为『一侧端部』)彼此 间,系介由基板上层之第1导线而彼此连接;而与该 一侧端部位在长轴方向相反侧的另一侧端部,系介 由基板上层之第2导线而相互连接;且 该第1导线与第2导线系介由该基板上层之第3导线 而相互连接。11.如申请专利范围第1项之半导体记 忆装置,其中,形成该1组副位元线之导电区域对,其 各自的长轴方向之端部中,位在对应于该1组副位 元线的该选择电晶体之侧的端部(称之为『一侧端 部』)彼此间,系介由基板上层之第1导线而彼此连 接;而与该一侧端部位在长轴方向相反侧的另一侧 端部,系介由基板上层之第2导线而相互连接;且 该导电区域,其长轴方向的两侧系介由基板上层之 第3导线相互连接。12.如申请专利范围第1项之半 导体记忆装置,其中: 连接该2条导电区域而形成1组副位元线之导线,系 包含如下的导线:形成该1组副位元线之导电区域 对中之一导电区域的一侧之端部,与另一导电区域 的与该一侧位在长轴方向相反侧的另一侧端部,将 此两侧端部彼此连接之设于基板上层之导线。13. 如申请专利范围第12项之半导体记忆装置,更包含: 设置于基板上层的导线,将形成该1组副位元线之 导电区域对中的一导电区域之连接于该选择电晶 体的一侧端部,及与该一侧位在长轴方向相反侧的 另一侧端部予以相互连接。14.如申请专利范围第1 项之半导体记忆装置,其中,利用基板上层的导线, 将一导电区域之一侧端部,与另一导电区域之与该 一侧位在长轴方向相反侧的另一侧端部予以相互 连接;从该记忆单元阵列一侧的选择电晶体,至该 记忆单元阵列另一侧的选择电晶体之间,将形成该 组副位元线之导电区域对设为复数段。15.一种半 导体记忆装置,具备: 复数条第1群之导电区域,于基板表面之记忆单元 阵列区域上,从该记忆单元阵列之一侧,朝着与该 一侧对向的另一侧复数条彼此平行延伸而形成;及 复数条第2群之导电区域,从该记忆单元阵列之该 另一侧,复数条彼此平行延伸而形成; 其特征为: 于该基板表面上,隔着绝缘膜,沿着与该导电区域 之延伸方向直交的方向相互平行延伸的复数条闸 极电极群分别形成字元线; 属于该复数条导电区域之中同一群的2条导电区域 成对,形成1组副位元线; 形成该1组副位元线之导电区域对中的一导电区域 ,连接在其闸极连结于选择控制线的选择电晶体之 扩散层对中的一扩散层,该选择电晶体之另一扩散 层则连接于已布线在基板上层的主位元线; 形成该1组副位元线之导电区域对,于连接至该选 择电晶体一侧的各自之端部(称为「一侧端部」), 系藉由接触孔而连接至基板上层的一条导线;且 于形成该组副位元线的导电区域对之间,配置有4 条导电区域对,包含:形成2组副位元线之导电区域 对的各1条导电区域对,该2组副位元线分别介由选 择电晶体,而连接在介由选择电晶体而连接上该1 组副位元线之主位元线两侧的2条主位元线;及形 成另2组副位元线之导电区域对的各1条导电区域 对,该另2组副位元线分别介由与连接该1组副位元 线的选择电晶体位在对向位置的选择电晶体,而连 接在相邻的2条主位元线。16.如申请专利范围第15 项之半导体记忆装置,其中,形成该1组副位元线之 导电区域对,于连接至对应该1组副位元线的该选 择电晶体之一侧的各自之端部(称为「一侧端部」 ),系藉由接触孔而连接至基板上层的第1导线;且与 该导电区域对之该一侧端部位于长轴方向相反侧 的另一侧的各自之端部,系藉由接触孔而连接至形 成于该基板上层的第2导线。17.如申请专利范围第 15项之半导体记忆装置,其中,该导电区域的长轴方 向之端部,系介由基板上层的导线予以彼此连接。 18.如申请专利范围第15项之半导体记忆装置,其中, 从该记忆单元阵列之一侧至另一侧,具备数段之分 割单位的单元阵列,而每个该分割单位之单元阵列 ,于形成介由导线连接的该1组副位元线之导电区 域对之间配置有4条导电区域,包含:形成2组副位元 线之导电区域对的各1条导电区域对,该2组副位元 线分别介由选择电晶体,而连接在介由选择电晶体 而连接上该1组副位元线之主位元线两侧的2条主 位元线;及形成另2组副位元线之导电区域对的各1 条导电区域对,该另2组副位元线分别介由与连接 该1组副位元线的选择电晶体位在对向位置的选择 电晶体,而连接在相邻的2条主位元线; 且具备:对应于该组副位元线而形成于该基板上层 ,从连接至该选择电晶体的一侧至另一侧,跨越延 伸于该数段分割单位之单元阵列之导电区域对的 导线;以及 该跨越延伸于该数段分割单位之单元阵列的导电 区域对的导线,系分别连接于连结形成该各段分割 单位之该1组副位元线的导电区域对之导线。19.如 申请专利范围第15项之半导体记忆装置,其中,藉由 场氧化膜将该选择电晶体间之予以元件分隔。20. 如申请专利范围第18项之半导体记忆装置,包含:以 连接形成该1组副位元线之导电区域对的导线,包 含由2个分割单位共用之单元阵列。21.一种半导体 记忆装置,具备: 复数条第1群之导电区域,于基板表面之记忆单元 阵列区域上,从该记忆单元阵列之一侧,朝着与该 一侧对向的另一侧复数条彼此平行延伸而形成;及 复数条第2群之导电区域,从该记忆单元阵列之该 另一侧,复数条彼此平行延伸而形成; 其特征为: 于该基板表面上,隔着绝缘膜,沿着与该导电区域 之延伸方向直交的方向相互平行延伸的复数条闸 极电极群分别形成字元线; 属于该复数条导电区域之中同一群的2条导电区域 成对,形成1组副位元线; 形成该1组副位元线之导电区域对中的一导电区域 ,连接在其闸极连结于选择控制线的选择电晶体之 扩散层对中的一扩散层,该选择电晶体之另一扩散 层则连接于已布线在基板上层的主位元线; 形成该1组副位元线之导电区域对之中,位于一导 电区域之连接至该选择电晶体之侧的端部(称为「 一侧端部」),与另一导电区域之与该一侧端部位 于长轴方向相反侧之端部,系藉由接触孔而分别连 接至基板上层导线层之一条导线;且 于形成该组副位元线的导电区域对之间,配置有4 条导电区域对,包含:形成2组副位元线之导电区域 对的各1条导电区域对,该2组副位元线分别介由选 择电晶体,而连接在介由选择电晶体而连接上该1 组副位元线之主位元线两侧的2条主位元线;及形 成另2组副位元线之导电区域对的各1条导电区域 对,该另2组副位元线分别介由与连接该1组副位元 线的选择电晶体位在对向位置的选择电晶体,而连 接在相邻的2条主位元线。22.如申请专利范围第1 项之半导体记忆装置,具备一电压施加机构: 其对于对应所选择的记忆单元之相邻2列导电区域 中的第1导电区域施加接地电压,而对于第2导电区 域,施加既定之正电压,且对于对应该记忆单元的 闸极电极,施加既定之正电压;以及 当对于该记忆单元进行写入的情形时,在与施加该 正电压的第2导电区域相邻的导电区域中之与该第 1导电区域相反侧之相邻列的第3导电区域,施加介 于对该第2导电区域所施加的该正电压与接地电压 之间的电压。23.如申请专利范围第1项之半导体记 忆装置,具备一电压施加机构: 其于对应所选择的记忆单元之相邻2列导电区域之 中的第1导电区域,施加接地电压,于第2导电区域施 加既定之正电压,于对应该记忆单元的闸极电极, 施加既定之正电压; 当进行对该记忆单元之写入的情形时,于施加该正 电压的第2导电区域之相邻导电区域,和与该第2导 电区域成对而构成1组副位元线的第3导电区域之 相邻导电区域中,于构成具有该第1导电区域以外 导电区域之副位元线的导电区域,施加与该第2导 电区域相同等级的正电压;且 于该第1导电区域,及配设在与该第1导电区域成对 而构成1组副位元线的第4导电区域和施加该正电 压的导电区域之间的导电区域之至少一个,施加介 于该第2导电区域所施加的该正电压与接地电压之 间的电压。24.如申请专利范围第1项之半导体记忆 装置,具备一电压施加机构: 其于对应所选择的记忆单元之相邻2列导电区域之 中的第1导电区域施加接地电压,于第2导电区域施 加既定之正电压,于对应该记忆单元的闸极电极, 施加既定之正电压;且 当进行该记忆单元之读出的情形时,在与施加该正 电压的第2导电区域之相邻导电区域中的与该第1 导电区域相反侧之相邻列的第3导电区域,施加与 该第2导电区域相同等级的正电压。25.如申请专利 范围第1项之半导体记忆装置,具备一电压施加机 构: 其于对应所选择的记忆单元之相邻2列导电区域之 中的第1导电区域施加接地电压,于第2导电区域施 加既定之正电压,于对应该记忆单元的闸极电极, 施加既定之正电压; 当进行对该记忆单元之读出的情形时,在施加该正 电压的第2导电区域之相邻导电区域,及与该第2导 电区域成对而构成1组副位元线的第3导电区域之 相邻导电区域中,于构成具有该第1导电区域以外 导电区域之副位元线的导电区域,施加和该第2导 电区域相同等级的正电压;以及 于该第1导电区域,及配设在与该第1导电区域成对 而构成1组副位元线的第4导电区域和施加该正电 压的导电区域之间的导电区域之至少一个,施加接 地电压。26.一种可改写之不挥发性半导体装置,其 为如申请专利范围第1项之半导体记忆装置,其中, 形成于相邻2条导电区域的记忆单元,在该基板表 面与闸极电极之间,具有由第1氧化膜、氮化膜、 及第2氧化膜所形成的ONO膜。27.如申请专利范围第 26项之可改写之不挥发性半导体记忆装置,其中,每 一该记忆单元具备2个记忆节点,每一该记忆单元 记忆有2位元之资料。28.一种半导体记忆装置之写 入控制方法,该半导体记忆装置系以导线连接由平 行延伸于基板表面之2条导电区域所构成的一对, 形成1组副位元线; 连接在对应于各副位元线组之主位元线的选择电 晶体,配置于记忆单元阵列之两侧; 分别连接于配置在该记忆单元阵列一侧与另一侧 的选择电晶体之复数组副位元线以相互交错方式 配置而成该半导体记忆装置; 该半导体记忆装置之写入控制方法的特征为: 于对应所选择的记忆单元之相邻2列导电区域之中 的第1导电区域,施加接地电压; 于第2导电区域,施加既定之正电压; 于对应该记忆单元之闸极电极,施加既定之正电压 ;且 当进行对该记忆单元之写入的情形时,在与施加该 正电压的第2导电区域之相邻导电区域之中位于该 第1导电区域相反侧之相邻列的第3导电区域,施加 介于该第2导电区域所施加的该正电压与接地电压 之间的电压。29.一种半导体记忆装置之写入控制 方法,该半导体记忆装置系以导线连接由平行延伸 于基板表面之2条导电区域所构成的一对,形成1组 副位元线; 连接在对应于各副位元线组之主位元线的选择电 晶体,配置于记忆单元阵列之两侧; 分别连接于配置在该记忆单元阵列一侧与另一侧 的选择电晶体之复数组副位元线以相互交错方式 配置而成该半导体记忆装置; 该半导体记忆装置之写入控制方法的特征为: 于对应所选择的记忆单元之相邻2列导电区域之中 的第1导电区域,施加接地电压; 于第2导电区域,施加既定之正电压; 于对应该记忆单元之闸极电极,施加既定之正电压 ;且 当进行对该记忆单元之写入的情形时,在施加该正 电压的第2导电区域之相邻导电区域,及与该第2导 电区域成对而构成1组副位元线的第3导电区域之 相邻导电区域中,于构成具有该第1导电区域以外 导电区域之副位元线的导电区域施加和该第2导电 区域相同等级的正电压;且 于该第1导电区域,及配设在与该第1导电区域成对 而构成1组副位元线的第4导电区域和施加该正电 压的导电区域之间的导电区域之至少一个,施加介 于该第2导电区域所施加的该正电压与接地电压之 间的电压。30.一种半导体记忆装置之读出控制方 法,该半导体记忆装置系以导线连接由平行延伸于 基板表面之2条导电区域所构成的一对,形成1组副 位元线; 连接在对应于各副位元线组之主位元线的选择电 晶体,配置于记忆单元阵列之两侧; 分别连接于配置在该记忆单元阵列一侧与另一侧 的选择电晶体之复数组副位元线以相互交错方式 配置而成该半导体记忆装置; 该半导体记忆装置之读出控制方法的特征为: 于对应所选择的记忆单元之相邻2列导电区域之中 的第1导电区域,施加接地电压; 于第2导电区域,施加既定之正电压; 于对应该记忆单元之闸极电极,施加既定之正电压 ;且 当进行对该记忆单元之读出的情形时,在与施加该 正电压的第2导电区域之相邻导电区域之中位于该 第1导电区域相反侧之相邻列的第3导电区域,施加 与该第2导电区域相同等级的正电压。31.一种半导 体记忆装置之读出控制方法,该半导体记忆装置系 以导线连接由平行延伸于基板表面之2条导电区域 所构成的一对,形成1组副位元线; 连接在对应于各副位元线组之主位元线的选择电 晶体,配置于记忆单元阵列之两侧; 分别连接于配置在该记忆单元阵列一侧与另一侧 的选择电晶体之复数组副位元线以相互交错方式 配置而成该半导体记忆装置; 该半导体记忆装置之写入控制方法的特征为: 于对应所选择的记忆单元之相邻2列导电区域之中 的第1导电区域,施加接地电压; 于第2导电区域,施加既定之正电压; 于对应该记忆单元之闸极电极,施加既定之正电压 ;且 当进行对该记忆单元之读出的情形时,在施加该正 电压的第2导电区域之相邻导电区域,及与该第2导 电区域成对而构成1组副位元线的第3导电区域之 相邻导电区域中,于构成具有该第1导电区域以外 导电区域之副位元线的导电区域施加和该第2导电 区域相同等级的正电压;且 令该第1导电区域,及配设在与该第1导电区域成对 而构成1组副位元线的第4导电区域和施加该正电 压的导电区域之间的导电区域之至少一个,成为接 地电压。32.如申请专利范围第28或29项之半导体记 忆装置的写入控制方法,其中,于该1组副位元线之 间的区域,包含合计4条副位元线,亦即:2组副位元 线之各1条,该2组副位元线系分别介由与该1组副位 元线相连接之选择电晶体,而与介由该选择电晶体 所连接之主位元线的相邻2条主位元线相连接;及 另外2组副位元线之各1条,该另外2组副位元线系分 别介由该记忆单元阵列之另一侧的选择电晶体而 与两相邻的2条主位元线相连接。33.如申请专利范 围第30或31项之半导体记忆装置的读出控制方法, 其中,于该1组副位元线之间的区域,包含合计4条副 位元线,亦即:2组副位元线之各1条,该2组副位元线 系分别介由与该1组副位元线相连接之选择电晶体 ,而与介由该选择电晶体所连接之主位元线的相邻 2条主位元线相连接;及另外2组副位元线之各1条, 该另外2组副位元线系分别介由该记忆单元阵列之 另一侧的选择电晶体而与两相邻的2条主位元线相 连接。34.一种半导体记忆装置,其特征为: 具备数列导电区域,相互平行延伸于形成记忆单元 阵列区域的基板表面; 将2列该导电区域成对并连接而形成1组副位元线, 该1组副位元线系介由选择电晶体而连接至主位元 线; 复数之该选择电晶体于该记忆单元阵列两侧成相 向配置; 该记忆单元阵列系以复数条(N条)字元线为单位,由 复数组(M组)所构成的; 形成该1组副位元线之2列之该导电区域对,系对应 于构成该记忆单元阵列的M组,由M组导电区域对所 构成的; 针对该M组导电区域对之各组,该导电区域对之一 边的导电区域的一侧端部,与位于该导电区域对之 另一边导电区域的与该一侧位在长轴方向相反侧 之端部,系利用基板上层的导线相互连接;以及 该M组之各组的该导电区域对,系介由该基板上层 的该导线,共同连接于一个该选择电晶体。35.如申 请专利范围第34项之半导体记忆装置,其中, 1组该导电区域对之一边的导电区域端部,系和位 在与该边的导电区域相同列上,且相邻于该1组之 其他组该导电区域对之一边的导电区域端部相分 隔; 1组该导电区域对之另一导电区域,系和与该另一 导电区域位在相同之列上,且与相邻于该组之另一 组该导电区域对的另一边之导电区域,介由形成连 接部的导电区域,予以彼此相互接连; 该导线系将相邻的该1组与该其他组之该导电区域 对之另一边的导电区域之端部的连接部,介由接触 孔而彼此连接;以及 将相邻之该1组与该其他组之该导电区域对之一边 之导电区域之被分隔的该端部和长轴方向相反侧 的端部,介由接触孔予以分别连接。36.如申请专利 范围第34项之半导体记忆装置,其中, 该M为4以上之偶数所构成的; 相邻的第j组与第j+1组(j为1以上,M-2以下之整数)之 导电区域对的第1列之导电区域之端部彼此分隔, 第2列导电区域端部则彼此相互连接,相邻的第j+1 组与第j+2组之导电区域对的该第1列导电区域端部 彼此连接,相邻的该第j+1组与该第j+2组之导电区域 对的第2列导电区域端部则彼此分隔;以及 针对共同连接于一选择电晶体之M组该导电区域对 ,端部彼此分隔之列与端部彼此连接之列,系采于 每组中可相互切换之构成。37.如申请专利范围第 34项之半导体记忆装置,其中, 1组之该导电区域对之各导电区域,系和与该各导 电区域分别位于相同的列上,且相邻于该1组之其 他组之该导电区域对之各导电区域,其端部彼此间 介由导电区域而相互连接;且 该导线系将相邻的该1组与该其他组之该导电区域 对之第1列的导电区域之端部的连接部,介由接触 孔而彼此连接;以及 将相邻之该1组与该其他组之该导电区域对之第2 列之导电区域之该端部和长轴方向相反侧的端部, 介由接触孔予以分别连接。38.如申请专利范围第 35项之半导体记忆装置,其中,该M为4以上之偶数所 构成的,针对共同连接于一选择电晶体的M组导电 区域对,第j(j为1以上,M-1以下之整数)组导电区域对 之第1列导电区域与第j+1组导电区域对之第1列导 电区域的连接部,和该导线,系介由接触孔而与长 轴方向相反侧之端部或连接部相互连接; 该第j+1组导电区域对之第1列导电区域与该第j组 导电区域之连接部,系于长轴方向相反侧之连接部 或端部,和该导线,系介由接触孔而相互连接;以及 相邻的该第j组与第j+1组导电区域对之第2列导电 区域之端部的连接部,和该导线,系介由接触孔而 彼此连接。39.如申请专利范围第34项之半导体记 忆装置,其中,于该2列导电区域之间,设有4列导电 区域,包含:对应于2组副位元线中的各1条之2列导 电区域,该2组副位元线介由选择电晶体,分别连接 于介由连结于该1组副位元线之选择电晶体而连接 的主位元线之两相邻2条主位元线;以及对应于另2 组副位元线中的各1条之2列导电区域,该另2组副位 元线分别连接于隔着该记忆单元阵列另一侧的选 择电晶体而相邻的2条主位元线。40.如申请专利范 围第34项之半导体记忆装置,具备一电压施加机构: 对于对应所选择的记忆单元之相邻2列导电区域中 的第1导电区域施加接地电压,而对于第2导电区域, 施加既定之正电压,且对于对应该记忆单元的闸极 电极,施加既定之正电压;以及 当对于该记忆单元进行写入的情形时,在与施加该 正电压的第2导电区域相邻的导电区域中之与该第 1导电区域相反侧之相邻列的第3导电区域,施加介 于对该第2导电区域所施加的该正电压与接地电压 之间的电压。41.如申请专利范围第34项之半导体 记忆装置,具备一电压施加机构: 于对应所选择的记忆单元之相邻2列导电区域之中 的第1导电区域,施加接地电压,于第2导电区域施加 既定之正电压,于对应该记忆单元的闸极电极,施 加既定之正电压; 当进行对该记忆单元之写入的情形时,于施加该正 电压的第2导电区域之相邻导电区域,和与该第2导 电区域成对而构成1组副位元线的第3导电区域之 相邻导电区域中,于构成具有该第1导电区域以外 导电区域之副位元线的导电区域,施加与该第2导 电区域相同等级的正电压;且 于该第1导电区域,及配设在与该第1导电区域成对 而构成1组副位元线的第4导电区域和施加该正电 压的导电区域之间的导电区域之至少一个,施加介 于该第2导电区域所施加的该正电压与接地电压之 间的电压。42.如申请专利范围第34项之半导体记 忆装置,具备一电压施加机构: 于对应所选择的记忆单元之相邻2列导电区域之中 的第1导电区域施加接地电压,于第2导电区域施加 既定之正电压,于对应该记忆单元的闸极电极,施 加既定之正电压;且 当进行该记忆单元之读出的情形时,在与施加该正 电压的第2导电区域之相邻导电区域中的与该第1 导电区域相反侧之相邻列的第3导电区域,施加与 该第2导电区域相同等级的正电压。43.如申请专利 范围第34项之半导体记忆装置,具备一电压施加机 构: 其于对应所选择的记忆单元之相邻2列导电区域之 中的第1导电区域施加接地电压,于第2导电区域施 加既定之正电压,于对应该记忆单元的闸极电极, 施加既定之正电压; 当进行对该记忆单元之读出的情形时,在施加该正 电压的第2导电区域之相邻导电区域,及与该第2导 电区域成对而构成1组副位元线的第3导电区域之 相邻导电区域中,于构成具有该第1导电区域以外 导电区域之副位元线的导电区域,施加和该第2导 电区域相同等级的正电压;以及 于该第1导电区域,及配设在与该第1导电区域成对 而构成1组副位元线的第4导电区域和施加该正电 压的导电区域之间的导电区域之至少一个,施加接 地电压。44.一种可改写之不挥发性半导体装置,其 为如申请专利范围第34项之半导体记忆装置,其中, 形成于相邻2条导电区域的记忆单元,在该基板表 面与闸极电极之间,具有由第1氧化膜、氮化膜、 及第2氧化膜所形成的ONO膜。45.一种半导体记忆装 置,具备: 记忆单元区域,包含于基板上配置成阵列状之复数 之记忆单元; 复数之主位元线; 复数之选择电晶体,配置于该主位元线与对应的1 组副位元线之间,以选择控制信号进行开关控制; 复数之导电区域,于该基板上,彼此并列延伸于该 记忆单元区域上; 该导电区域系每2个成对而形成复数组之副位元线 ,各副位元线系介由该复数之选择电晶体中的对应 之选择电晶体而连接至该主位元线: 构成1组副位元线的导电区域对中之一导电区域的 一端,与该导电区域对中之另一导电区域的长轴方 向之另一端,系介由基板上层的导线而相互连接; 且 于该记忆单元区域中,沿着与该导电区域之延伸方 向成直交之方向,隔着绝缘膜彼此平行延伸于该基 板上而形成的复数条闸极电极群之各闸极电极,分 别形成字元线,该记忆单元系形成于该闸极电极与 相邻2条导电区域的交叉部。46.如申请专利范围第 45项之半导体记忆装置,其中, 复数之该选择电晶体系对向配置于该记忆单元阵 列的两侧;且 将分别连接于该记忆单元阵列一侧之复数之选择 电晶体的复数组副位元线,与分别连接于该记忆单 元阵列另一侧之复数之选择电晶体的复数组副位 元线,以相互交错方式予以配置。47.如申请专利范 围第45项之半导体记忆装置,其中,利用基板上层的 导线,将一导电区域之一侧端部,和另一导电区域 之与该一侧位在长轴方向相反侧的另一侧端部予 以相互连接,形成该1组副位元线之导电区域对系 从该记忆单元阵列一侧的选择电晶体,至该记忆单 元阵列另一侧的选择电晶体之间,设置数段。48.如 申请专利范围第45项之半导体记忆装置,其中,藉由 场氧化膜进行该选择电晶体间之元件分隔。图式 简单说明: 图1系显示本发明一实施例的配置图。 图2系显示本发明一实施例的电路构造图。 图3系示意显示具备ONO膜、具有2位元记忆节点之 记忆单元的构造图。 图4(a)及(b)系说明图3记忆单元之程式的图形。 图5(a)及(b)系说明图3记忆单元之读出的图形。 图6(a)及(b)系为了说明本发明一实施例之写入的图 形。 图7(a)及(b)系为了说明本发明一实施例之写入的图 形。 图8(a)及(b)系为了说明本发明一实施例之读出的图 形。 图9(a)及(b)系为了说明本发明一实施例之读出的图 形。 图10系显示本发明第2实施例的配置图。 图11系显示本发明第2实施例的电路构造图。 图12系显示本发明第3实施例的配置图。 图13系显示本发明第3实施例的电路构造图。 图14系显示本发明第4实施例的配置图。 图15系显示本发明第4实施例的电路构造图。 图16系显示习知之不挥发性半导体装置的配置图 。 图17系显示习知之不挥发性半导体装置的电路构 造图。 图18系显示本发明第5实施例的电路构造图。 图19系显示本发明第6实施例的电路构造图。 图20系显示本发明第7实施例的配置图。 图21系显示本发明第7实施例的电路构造图。 图22系显示本发明第8实施例的配置图。 图23系显示本发明第8实施例的电路构造图。 图24系显示本发明第9实施例的配置图。 图25系显示本发明第9实施例的电路构造图。 图26系显示本发明第10实施例的配置图。 图27系显示本发明第10实施例的电路构造图。 图28系显示本发明第11实施例的配置图。 图29系显示本发明第11实施例的电路构造图。
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