发明名称 Inspection tool with partial framing/windowing camera
摘要 An inspection system, and process for use thereof, allows for inspecting of semiconductors or like substrates with minimal or no wasted image space.
申请公布号 US2004096095(A1) 申请公布日期 2004.05.20
申请号 US20030623282 申请日期 2003.07.18
申请人 AUGUST TECHNOLOGY CORP. 发明人 WATKINS CORY
分类号 G01N21/95;G01N21/956;(IPC1-7):G06K9/00 主分类号 G01N21/95
代理机构 代理人
主权项
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