Verfahren zum Verbinden von zur Herstellung von Mikrostrukturbauteilen geeigneten, mikrostrukturierten Bauteillagen sowie Mikrostrukturbauteil

摘要

Bekannte Herstellverfahren für Mikrostrukturbauteile, insbesondere für Mikroreaktoren, Mikrowärmeaustauscher und Mikromischer, sind nicht ausreichend zuverlässig, um zu gewährleisten, dass die Druck- und Korrosionsbeständigkeit des Bauteils genügend hoch ist, die Dichtigkeit gegen Fluidaustritt aus dem Bauteil oder Fluidübertritt in benachbarte Mikrokanäle genügend hoch ist und die Mikrokanäle einen ausreichend geringen Strömungswiderstand aufweisen. Darüber hinaus sind die bekannten Herstellungsverfahren nicht so kostengünstig, dass die mikrostrukturierten Bauteile breiteren Anwendungsfeldern zugeführt werden können. Um diese Probleme zu lösen, werden zur Herstellung von Mikrostrukturbauteilen mindestens auf die Fügeflächen von mikrostrukturierten Bauteillagen aus Aluminium und/oder Aluminiumlegierungen, Kupfer/Kupferlegierungen und/oder Edelstählen mindestens eine multifunktionale Barriereschicht und auf die mindestens eine Barriereschicht eine Lotschicht aufgebracht, die Bauteillagen gestapelt und dann unter Wärmeeinwirkung gelötet.