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发明名称 Apparatus and method for thermal dissipation in a thermal mass flow sensor
摘要
申请公布号 GB0408387(D0) 申请公布日期 2004.05.19
申请号 GB20040008387 申请日期 2002.11.21
申请人 MKS INSTRUMENTS INC 发明人
分类号 G01F1/00;G01F1/684;G01F5/00;G05D7/06 主分类号 G01F1/00
代理机构 代理人
主权项
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