发明名称 氮化镓基化合物半导体器件及其制作方法
摘要 用汽相淀积在p<SUP>+</SUP>层上形成包括钴(Co)的层,并把包括金(Au)的层形成在其上。通过热处理将这两层合金化,以便形成透光电极。因此,透光电极有降低的接触电阻和改善的透光性,并长时间内提供稳定的发光图形。此外,由于钴(Co)是一种有较大功函数的元素,所以可获得令人满意的欧姆特性。
申请公布号 CN1150632C 申请公布日期 2004.05.19
申请号 CN97129713.4 申请日期 1997.11.29
申请人 丰田合成株式会社 发明人 上村俊也;柴田直树;野杁静代;伊藤润;村上正纪;小出康夫
分类号 H01L33/00 主分类号 H01L33/00
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波
主权项 1.一种GaN基化合物半导体发光器件,包括:P型GaN基化合物半导体层;和固定在所述p型GaN基化合物半导体层上有透光特性和欧姆特性的电极,其特征在于,所述电极包括从钴合金、钯和钯合金组成的组中至少选择一种构成的金属层。
地址 日本爱知县