发明名称 Turbomolecular pump
摘要
申请公布号 EP0893604(B1) 申请公布日期 2004.05.19
申请号 EP19980113886 申请日期 1998.07.24
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 SHIOKAWA, ATSUSHI;MIYAMOTO, MATSUTARO;SOBUKAWA, HIROSI
分类号 F04D17/16;F04D19/04;(IPC1-7):F04D19/04 主分类号 F04D17/16
代理机构 代理人
主权项
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