| 发明名称 | 用于抛光铜基金属的浆 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于抛光铜基金属的浆，包括二氧化硅抛光材料，氧化剂，氨基酸，三唑类化合物和水，其中，所述氨基酸与所述三唑类化合物的含量比(氨基酸/三唑类化合物(重量比))为5－8。 | ||
| 申请公布号 | CN1497029A | 申请公布日期 | 2004.05.19 |
| 申请号 | CN03152491.5 | 申请日期 | 2003.08.01 |
| 申请人 | 恩益禧电子股份有限公司;东京磁气印刷株式会社 | 发明人 | 土屋泰章;青柳健一;井上智子;板仓哲之;樱井伸 |
| 分类号 | C09G1/02 | 主分类号 | C09G1/02 |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 穆德骏;王维玉 |
| 主权项 | 1.一种用于抛光铜基金属的浆，包括二氧化硅抛光材料，氧化剂，氨基酸，三唑类化合物和水，其中，所述氨基酸与所述三唑类化合物的含量比(氨基酸/三唑类化合物(重量比))为5-8。 | ||
| 地址 | 日本神奈川 | ||