发明名称 METHODS FOR FORMING THERMO-OPTIC SWITCHES, ROUTERS AND ATTENUATORS
摘要
申请公布号 EP1417532(A1) 申请公布日期 2004.05.12
申请号 EP20020795483 申请日期 2002.07.16
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 KHAN, ANISUL;KUMAR, AJAY
分类号 G02F1/01;G02F1/313;(IPC1-7):G02F1/01 主分类号 G02F1/01
代理机构 代理人
主权项
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