制造被涂覆处理室部件的方法

摘要

本发明提供一种制造处理室部件的方法，其中该部件具有带有晶粒和晶界区域的陶瓷结构。在该方法中，喷丸处理该部件以提供具有小于约150微英寸的相对低的表面粗糙度平均值的表面。该部件被浸在具有足够低浓度以减少陶瓷结构的晶界区域的刻蚀的溶液。金属涂层形成在陶瓷结构的至少一部分上。通过该方法制造的部件可允许在溅射处理中形成较厚的溅射材料的淀积物，而且溅射的淀积积累物不会使该部件的涂层剥落。

主权项

1、一种制造用于处理室的部件的方法，该部件包括具有晶粒和晶界区域的陶瓷结构，该方法包括：(a)对所述部件进行喷丸处理，以便提供具有小于约150微英寸的粗糙度平均值的表面；(b)将该部件浸在具有足够低浓度以减少陶瓷结构的晶界区域的刻蚀的酸或碱的溶液中；和(c)在所述陶瓷结构的至少一部分上形成金属涂层。