| 发明名称 |
VACUUM UV BASED OPTICAL MEASURING METHOD AND SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL158344(D0) |
申请公布日期 |
2004.05.12 |
| 申请号 |
IL20030158344 |
申请日期 |
2003.10.09 |
| 申请人 |
NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD. |
发明人 |
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| 分类号 |
G01J5/00;G01N;G01N21/01;G01N21/21;(IPC1-7):G01N |
主分类号 |
G01J5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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