| 发明名称 | 用于从物体的微结构中清除残余物的方法和组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种从物体的微结构中清除残余物的方法，其包括下述步骤：制备包括二氧化碳、用于清除残余物的添加剂、在加压流体条件下将添加剂溶解在所说的二氧化碳中的共溶剂的清除剂，使物体和所说的清除剂接触以清除物体中残余物。本发明还提供一种用于从物体的微结构中清除残余物的组合物。 | ||
| 申请公布号 | CN1494954A | 申请公布日期 | 2004.05.12 |
| 申请号 | CN03137815.3 | 申请日期 | 2003.05.21 |
| 申请人 | 株式会社神户制钢所 | 发明人 | 增田薰;饭岛胜之;吉川哲也;D·W·彼得斯 |
| 分类号 | B08B3/00;C11D7/50 | 主分类号 | B08B3/00 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 陈长会 |
| 主权项 | 1、一种从物体的微结构中清除残余物的方法，其包括下述步骤：制备清除剂，所述清除剂包括二氧化碳、用于清除残余物的添加剂、用于抑制残余物的抑制剂、和用于在加压流体条件下将所说的添加剂和所说的抑制剂溶解在所说的二氧化碳中的共溶剂；和使物体和所说的清除剂接触以清除物体中残余物。 | ||
| 地址 | 日本兵库县 | ||