藉微影曝光之反射镜及制造方法

摘要

在一半导体制造反射光学镜中具有一覆盖层在一反射的多层序列之上，根据本发明，提供覆盖层一掺杂且一人工氧化层藉由过氧化氢的辅助成长于覆盖层之上，特别是在催化剂(铂)存在之下。人工生长的氧化层比一自然生长的氧化层较为均质，且在半导体制品之微影曝光的期间，能改善镜面之光学性质。

主权项

1.一种半导体制品之微影曝光的反射镜之制造方法，在一基板上生成一多层结构以及，在后者之上，一覆盖层由一材料其上有一空气中形成之自然氧化层，其特征系覆盖层从一掺杂的材料所制得且使其与过氧化氢接触，结果一人工生长的氧化层在覆盖层上形成。